一、精密零件切削加工。主要有精密车削、镜面磨削和研磨等。在精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削，切削厚度仅1微米左右，马鞍山多轴，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等---、外表高度光洁的零件。二、精密零件加工。精密零件加工精度以纳米，甚至后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，多轴传动，超精密零件切削加工方法已不能适应
超精密零件切削加工方法已不能适应，---借助特种精密零件加工的方法，多轴器，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量---原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，多轴控制，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
高光洁---磨削同样要求机床有---的精度和刚性，磨削过程是用经精细修整的砂轮，使每个磨粒上产生多个等高的微切削刃，以很小的磨削---，在适当的磨削压力下，从工件表面切下很微细的切屑加上微切削刃呈微饨状态时的滑擦，挤压、抚平作用和多次无进给光磨阶段的摩擦抛光作用，从而获得---的加工精度和物理机械性能---的高光洁表面。综上所述，采用精密加工工艺可提高工件的加工精度和表面。
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